超精密切削与磨削损伤

（0001）取向单晶氮化镓金刚石磨削中的独特材料去除机制

结合金刚石磨削实验与分子动力学压痕/划擦模拟，研究（0001）取向单晶GaN的变形与去除特征。粗磨粒（2000目）下呈脆性去除，细磨粒（6000目）可实现延性去除；粗磨时沿c面出现剥离式去除。模拟表明切向（横向）力是c面平面缺陷萌生和剥离的关键，m面和a面不出现这种剥离；提高砂轮转速会增大切向磨削力并加剧剥离。