半导体先进集成与封装

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混合键合

等离子体活化、室温介质贴合、退火铜合拢、Cu/介质界面、键合强度、空洞控制
效果展示
图示仅用于技术案例说明,不代表本公司项目成果或特定客户案例

计算目的

说明混合键合三段工艺中介质先贴合与铜互连合拢的关系

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