理论计算半导体生长与制造外延生长计算目的案例参考半导体生长与制造当前预约服务外延生长外延取向、晶格失配、生长模式、界面缺陷、应变弛豫、薄膜质量图示仅用于技术案例说明,不代表本公司项目成果或特定客户案例计算目的刻画外延过程中的失配应变与界面缺陷形成规律案例参考Materials:SiGe/Si 多团簇沉积层形貌 1–5 ns 演化用分子动力学模拟多团簇介等离子体 CVD 条件下 SiGe/Si 外延沉积层在 1–5 ns 内的界面与表面形貌演化,分析衬底温度对外延质量与缺陷的影响。查看文章微信扫码,免费咨询如果你不确定适合方案,可以把需求发给我们Email: chengyankeji2026@163.com立即咨询微信二维码返回立即下单