半导体生长与制造

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外延生长

外延取向、晶格失配、生长模式、界面缺陷、应变弛豫、薄膜质量
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图示仅用于技术案例说明,不代表本公司项目成果或特定客户案例

计算目的

刻画外延过程中的失配应变与界面缺陷形成规律

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